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研究表明采用软件补偿的方法可以较大地提高直线电机进给的定位精度。2直线电机进给定位精度测试方法直线电机进给产生定位精度误差因素很复杂，主要因素有：（1）光栅尺的制造及安装误差，光栅尺的运动部分及固定部分分别安装在进给单元的动子及定子底板上，产生一定的线性误差在所难免；（2）直线电机存在的边端效应使进给单元两端的力特性发生变化，影响进给平台制动，从而产生定位精度误差；（3）环境对定位精度误差产生的随机误差，由于没有采用隔震地基，周边环境的随机振动都会传递到进给单元及激光干涉仪，从而产生误差。直线电机进给定位精度测试采用英国雷尼绍公司的ML10激光干涉仪测试。ML10激光干涉仪是为机床检定提供了一种高精度标准,它准确度高,测量范围大(线性测长40m,任选80m),测量速度快(60m/min),分辨力高(μm),便携性好。更由于雷尼绍激光干涉仪具备自动线性误差补偿功能,可方便恢复机床精度。测试方法如下：1.安装双频激光干涉仪测量系统各组件(见图1)。2.在需测量的直线电机进给坐标轴线方向安装光学测量装置。3.调整激光头,使测量轴线与直线电机移动的轴线在一条直线上(或平行),即将光路调准直。4.待激光预热后输入测量参数。直线电机与旋转电机相比，主要有如下几个特点。csk直线电机

导向装置必须吸收所出现3000N的力。因此在高动态的运转应用中要求要有重量轻、刚性高并且坚固的机械导向装置。机台水平的校正。线性滑轨要求用两个等高量块以及一个大理石量尺放在安装基面上，放上精密的水平仪调试底座水平，要求是底座中凸(2~3格)直线导轨安装基面粗糙度，平面度，直线度以及外观的检查。要求：当水平调试好以后，必须用激光干涉仪测量出主直线导轨安装基面(我们通常以靠近右侧立柱的一条直线导轨面为主导轨)的平面度允许每10m中凸，全行程直线度允许中凸。粗糙度要求直线导轨安装基面与导轨侧基准安装面的倒角处理。要求：倒角半径小于或等于，若发现倒角过大或凸出，应及时采用油石和锉刀处理，否则会容易造成导轨精度的安装不良或者会干涉滑块。线性滑轨安装基面锁紧螺纹孔的加工。要求确认安装螺孔的位置是否正确，各相连螺孔的中心距120mm大于，要求选用数控设备定位加工。开箱后直线导轨的检查。要求：检查直线导轨是否有合格证，是否碰伤或锈蚀，将防锈油清洗干净，装配表面的毛刺、撞击突起物及污物等。科尔摩根直线电机直线电机优势多，如非常高速和非常低速，高加速度，几乎零维护。

直线电机可以认为是旋转电机在结构方面的一种变形，它可以看作是一台旋转电机沿其径向剖开，然后拉平演变而成。随着自动控制技术和微型计算机的高速发展，对各类自动控制系统的定位精度提出了更高的要求，在这种情况下，传统的旋转电机再加上一套变换机构组成的直线运动驱动装置，已经远不能满足现代控制系统的要求，为此，世界许多国家都在研究、发展和应用直线电机，使得直线电机的应用领域越来越广。直线电机主要应用于三个方面：一是应用于自动控制系统，这类应用场合比较多；其次是作为长期连续运行的驱动电机；三是应用在需要短时间、短距离内提供巨大的直线运动能的装置中。

直线式电动机是一种把电能直接转化为直线式运动机械能的传动装置，无需任何中间转换机构。这就像是一个旋转的马达，将其分成径向段，并展开成平面。线性电动机又称线性电动机、直线电动机、推杆电动机。直线电机常见的类型是平板型、U型槽型、管型。其典型组成为三相，带有霍尔元件实现无刷换相。直线电机的图表清楚地显示了动子(forcer,rotor)的内部绕组.磁铁和磁轨.动子通过环氧材料对线圈进行挤压。另外，磁轨将磁铁固定到钢上。线性电动机通常简单地说就是将旋转电动机展开，工作原理相同。动轨(forcer,rotor)是用环氧材料将线圈压在一起制成的，而磁轨则是将磁铁(通常是高能量的稀土磁铁)固定到钢上。马达的动子包括线圈绕组、霍尔元件、电热调节器(温度传感器监测温度)以及电子接口。转动电机中，动子和定子需要转动轴承来支撑动子，以保证气隙(airgap)相对运动部分。类似地，直线电机也需要直线导轨来保持动子在轨道产生的磁场中的位置。正如旋转伺服电动机的编码器安装在轴上的反馈位置，直线电机需要反馈直线位置的反馈装置——直线编码器，它能直接测量负载位置，从而提高负载定位精度。定子演化的一面称为初级面，转子演化的一面称为次级面。由于直线电机驱动的电梯没有曳引机组，因而建筑物顶的机房可省略。

在调速电阻上消耗大量电能。改变电阻调速缺点很多。自动控制的直流调速系统往往以调压调速为主，必要时把调压调速和弱磁调速两种方法配合起来使用。调压调速的实现需要有专门的可控直流电源。自20世纪70年代以来，电力电子器件迅速发展，研制并生产出多种既能控制其导通又能控制其关断的性能优良的全控型器件，由它们构成的脉宽调制(PWM)直流调速系统近年来在中小功率直流传动中得到了迅猛的发展，与老式的可控直流电源调速系统相比，PWM调速系统有以下优点:1、采用全控型器件的PWM调速系统，其脉宽调制电路的开关频率高，因此系统的频带宽，响应速度快，动态抗扰能力强。2、由于开关频率高，电动机电枢电感的滤波作用就可以获得脉动很小的直流电流，电枢电流容易连续，系统的低速性能好，稳速精度高，调速范围宽，同时电动机的损耗和发热都较小。3、PWM系统中，主电路的电力电子器件工作在开关状态，损耗小，装置效率高，而且对交流电网的影响小，没有晶闸管整流器对电网的"污染"，功率因数高，效率高。4、主电路所需的功率元件少，线路简单，控制方便。目前，受到器件容量的限制，PWM直流调速系统只用于中、小功率的系统。无刷直流电动机的转速设定。直线电机驱动技术至今已越来越成熟。直线电机组成部分

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对直线电机控制技术的研究基本上可以分为三个方面：一是传统控制技术，二是现代控制技术，三是智能控制技术。传统的控制技术如PID反馈控制、解耦控制等在交流伺服系统中得到了的应用。其中PID控制蕴涵动态控制过程中的信息，具有较强的鲁棒性，是交流伺服电机驱动系统中基本的控制方式。为了提高控制效果，往往采用解耦控制和矢量控制技术。在对象模型确定、不变化且是线性的以及操作条件、运行环境是确定不变的条件下，采用传统控制技术是简单有效的。但是在高精度微进给的高性能场合，就必须考虑对象结构与参数的变化。各种非线性的影响，运行环境的改变及环境干扰等时变和不确定因素，才能得到满意的控制效果。因此，现代控制技术在直线伺服电机控制的研究中引起了很大的重视。常用控制方法有：自适应控制、滑模变结构控制、鲁棒控制及智能控制。主要是将模糊逻辑、神经网络与PID、H∞控制等现有的成熟的控制方法相结合，取长补短，以获得更好的控制性能。csk直线电机

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